000 01234nam0a22002891 4500
001 rc\3803468
005 20260406154513.0
021 _aRU
_b[75-62221]
035 _a(NLR Aleph) 007256890
090 _a5265233
_c5265233
100 _a20120311d1975 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aИонная бомбардировка - метод исследования свойств поверхности
_e[Сборник статей
_fОтв. ред. акад. У.А. Арифов]
_gАН КзССР. Ин-т электроники
210 _aТашкент
_cФан
_d1975
215 _a145 с.
_cил.
_d21
320 _aСписки лит. в конце статей
606 _aИоны
_xВзаимодействие с поверхностью металлов
_jСборники
_2psbo
606 _aИонная эмиссия
_jСборники
_2psbo
702 1 _aАрифов
_bУ.А.
_gУбай Арифович
_4340
712 0 2 _aИнститут электроники им. У.А.Арифова
_cТашкент
_3RU\NLR\AUTH\889929869
_9355315
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j75-3/5286
942 _cBOOK
980 _aNB