000 01397nam0a22003131 4500
001 rc\3803687
005 20250530055246.0
021 _aRU
_b[75-76921]
035 _a(NLR Aleph) 007256961
090 _a5265985
_c5265985
100 _a20120311d1975 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aСтатическое электричество в полупроводниковой промышленности
_fВ.А. Каверзнев, А.А. Зайцев, Ю.А. Овечкин
210 _aМосква
_cЭнергия
_d1975
215 _a113 с.
_cил.
_d21
320 _aСписок лит.: с. 110-112 (58 назв.)
606 _aЭлектричество статическое в производствах
_2psbo
606 _aПолупроводниковые приборы
_xЭлектростатические свойства
_2psbo
700 1 _aКаверзнев
_bВ.А.
_gВладимир Александрович
701 1 _aОвечкин
_bЮ.А.
_gЮрий Алексеевич
701 1 _aЗайцев
_bА. А.
_cспециалист в обл. полупроводник. приборов
_gАнатолий Александрович
_9222824
_3RU\NLR\AUTH\770222880
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j75-3/6433
942 _cBOOK
980 _aNB