| 000 | 01397nam0a22003131 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3803687 | ||
| 005 | 20250530055246.0 | ||
| 021 |
_aRU _b[75-76921] |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007256961 | ||
| 090 |
_a5265985 _c5265985 |
||
| 100 | _a20120311d1975 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aСтатическое электричество в полупроводниковой промышленности _fВ.А. Каверзнев, А.А. Зайцев, Ю.А. Овечкин |
|
| 210 |
_aМосква _cЭнергия _d1975 |
||
| 215 |
_a113 с. _cил. _d21 |
||
| 320 | _aСписок лит.: с. 110-112 (58 назв.) | ||
| 606 |
_aЭлектричество статическое в производствах _2psbo |
||
| 606 |
_aПолупроводниковые приборы _xЭлектростатические свойства _2psbo |
||
| 700 | 1 |
_aКаверзнев _bВ.А. _gВладимир Александрович |
|
| 701 | 1 |
_aОвечкин _bЮ.А. _gЮрий Алексеевич |
|
| 701 | 1 |
_aЗайцев _bА. А. _cспециалист в обл. полупроводник. приборов _gАнатолий Александрович _9222824 _3RU\NLR\AUTH\770222880 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j75-3/6433 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||