000 00841nam0a22002531 4500
001 rc\1164558
005 20250622204245.0
035 _a(NLR Aleph) 006408381
090 _a5319581
_c5319581
100 _a20041129d1980 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aХудожественное конструирование оборудования для микроэлектроники
_e(Учеб. пособие)
210 _aМ.
_cМИЭТ
_d1980
215 _a56 с.
_cил.
_d20
300 _aВ надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники
700 1 _aСтруков
_bО.Д.
_gОлег Дмитриевич
701 1 _aЧабров
_bС.С.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j81-4/20995
942 _cBOOK
980 _aNB