000 00653nam1a22002051i 4500
001 rc\397823
005 20240726025700.0
035 _a(NLR Aleph) 005805418
090 _a5339095
_c5339095
100 _a20030616g19899999u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники
_e[Учеб. пособие для ПТУ
_eВ 10 кн.]
210 _aМ.
_cВысш. школа
_d1989-
215 _d20
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j89-3/13958
942 _cBOOK