| 000 | 01192nam2a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\397829 | ||
| 005 | 20250621134348.0 | ||
| 010 |
_a5-06-000308-6 _930000 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005805424 | ||
| 090 |
_a5339148 _c5339148 |
||
| 100 | _a20030616d1989 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aНанесение пленок в вакууме _f[В.Е. Минайчев] |
|
| 210 |
_d1989 _aБ. м. |
||
| 215 |
_a109, [1] с. _cил. |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 108 (6 назв.) | ||
| 461 | 0 |
_1001rc\397823 _12001#$aТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники$e[Учеб. пособие для ПТУ$eВ 10 кн.]$vКн. 6 _95339095 _cМ. _d1989- _nВысш. школа _o[Учеб. пособие для ПТУ : В 10 кн.] _tТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники _vКн. 6 |
|
| 701 | 1 |
_aМинайчев _bВ.Е. _gВиктор Егорович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j89-3/13958 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||