000 02294nam0a22003371 4500
001 rc\279359
005 20250621014455.0
010 _a5-7763-0036-3
_d55 к.
_9800
021 _aRU
_b90-48694
035 _a(NLR Aleph) 005506745
090 _a5363189
_c5363189
100 _a20030307d1990 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa j||||||||
200 1 _aМоделирование технологических процессов изготовления БИС
_e[учебное пособие для специальностей "Электронные приборы и устройства", "Микроэлектроника", "Системы автоматизированного проектирования" и "Конструирование и технология вычислительных средств"]
_fА.И. Петренко, Ю.С. Синекоп, Г.А. Матросова [и др.]
_gМ-во высш. и сред. спец. образования УССР, Учеб.-метод. каб. по высш. образованию, Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Окт. соц. революции, Межотрасл. ин-т повышения квалификации кадров по новым направлениям развития техники и технологии
210 _aКиев
_cУМКВО
_d1990
215 _a319 с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр.: с. 310-317 (120 назв.)
606 1 _aБольшие интегральные схемы
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xПроектирование
_92299501
_3RU\NLR\AUTH\661376777
686 1 _aз844.15-02я73
701 1 _aПетренко
_bА. И.
_gАнатолий Иванович
701 1 _aСинекоп
_bЮ. С.
_gЮрий Степанович
701 1 _aМатросова
_bГ. А.
_gГалина Алексеевна
712 0 2 _4475
_aУкраинский учебно-методический кабинет высшего образования
_cКиев
_9706591
_3RU\NLR\AUTH\880522708
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j90-3/7269
942 _cBOOK
980 _aNB