000 00882nam1a22002651 4500
001 rc\488567
005 20030616171357.5
035 _a(NLR Aleph) 005809536
090 _a5374025
_c5374025
100 _a20030616d1987 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aМеханизмы ионно-молекулярной эпитаксии
_fА.Г. Будревич, А.С. Лютович, Б.Л. Оксенгендлер
210 _aТашкент
_cБ. и.
_d1987
215 _d20
225 1 _aПрепринт
_fАН УзССР, Ин-т электрон. им. У.А. Арифова
700 1 _aБудревич
_bА. Г.
701 1 _aЛютович
_bА. С.
701 1 _aОксенгендлер
_bБ. Л.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j88-4/11316
942 _cBOOK
980 _aNB