| 000 | 00813nam1a22002411i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\441450 | ||
| 005 | 20240726050136.0 | ||
| 090 |
_a5433370 _c5433370 |
||
| 100 | _a20030616g19889999u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aОптическая эллипсометрия | |
| 210 |
_aНовосибирск _d1988- |
||
| 215 | _d20 | ||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников |
|
| 700 | 1 |
_aСвиташев _bК.К. _f1936- _gКонстантин Константинович |
|
| 701 | 1 |
_aЛюбинская _bР.И. _gРаиса Ивановна |
|
| 852 |
_aNLR _j89-4/1620 |
||
| 942 | _cBOOK | ||