| 000 | 01158nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\1180736 | ||
| 005 | 20250622211919.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006422901 | ||
| 090 |
_a5467517 _c5467517 |
||
| 100 | _a20041129d1980 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aВакуум-термическое оборудование _eРазд. "Оборуд. для получения пленок в вакууме" _eКурс лекций для студентов спец. 0643 |
|
| 210 |
_aМ. _cМИСИС _d1980 (вып. дан. 1981) |
||
| 215 |
_a68 с. _cил. _d20 |
||
| 300 | _aВ надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 67 (10 назв.) | ||
| 700 | 1 |
_aКожитов _bЛ.В. _gЛев Васильевич |
|
| 701 | 1 |
_aБлинов _bИ.Г. _gИван Григорьевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j81-4/23429 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||