000 01073nam0a22002531 4500
001 rc\953996
005 20260407104227.0
035 _a(NLR Aleph) 006125081
090 _a5501861
_c5501861
100 _a20041129d1982 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aПолупроводниковые структуры и системы контроля технологических процессов
_eВопр. электроники
_eМежвуз. сб.
_fКишин. политехн. ин-т им. С. Лазо
_g[Редкол.: И.Ф. Клисторин (отв. ред.) и др.]
210 _aКишинев
_cШтиинца
_d1982
215 _a142 с.
_cил.
_d22
320 _aБиблиогр. в конце ст.
702 1 _aКлисторин
_bИ.Ф.
_4340
712 0 2 _aКишиневский политехнический институт им. С. Лазо
_3RU\NLR\AUTH\889933778
_9362627
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j83-5/877
942 _cBOOK
980 _aNB