| 000 | 00929nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\956766 | ||
| 005 | 20250622055425.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006127414 | ||
| 090 |
_a5525267 _c5525267 |
||
| 100 | _a20041129d1982 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aДефекты кремниевой эпитаксиальной пленки и методы их исследования | |
| 210 |
_aБаку _cСКБ ИФАН _d1982 |
||
| 215 |
_a[2], 22 с. _cил. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН АзССР, Ин-т физики _v№ 50 |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 21-22 | ||
| 700 | 1 |
_aРзаев _bС.Г. оглы _gСалман Гадималы оглы |
|
| 701 | 1 |
_aАбдуллаев _bА.Г. оглы _gАйдын Гасан оглы |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j82-4/25556 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||