| 000 | 01610nam0a2200337 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1304504 | ||
| 005 | 20260409075512.0 | ||
| 010 |
_a978-5-903559-10-7 _9200 |
||
| 021 |
_aRU _b2008-82666 _94815 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001290039 | ||
| 090 |
_a553384 _c553384 |
||
| 100 | _a20081209d2008 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aПроблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008 [МЭС - 2008] _eIII Всероссийская научно-техническая конференция, [6-10 октября 2008] _eсборник трудов _f[под общ. ред. А.Л. Стемпковского] |
|
| 210 |
_aМосква _cИнститут проблем проектировния в микроэлектронике _d2008 |
||
| 215 |
_a550 с. _cил. _d29 |
||
| 320 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 320 | _aИмен. указ. авт. ст.: с. 549-550 | ||
| 606 | 1 |
_aМикроэлектроника _jСъезды, совещания и т.п. _92094897 _3RU\NLR\auth\661267605 |
|
| 606 |
_aНаноэлектроника _jСъезды, совещания и т.п. _92473046 _3RU\NLR\auth\661468617 |
||
| 686 | _aЗ844.1я431(2) | ||
| 702 | 1 |
_aСтемпковский _bА. Л. _gАлександр Леонидович _4340 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20081209 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20081209 |
|
| 830 | _aпо эк | ||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||