| 000 | 01185nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\1188477 | ||
| 005 | 20041129090312.6 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006429766 | ||
| 090 |
_a5536667 _c5536667 |
||
| 100 | _a20041129d1980 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aФизические основы технологии микроэлектронной аппаратуры _eКонспект лекций _f[Н.Е. Скляров, В.В. Соловьев, Ю.А. Тимофеев, В.С. Пархоменко _gПод ред. К.А. Сапожкова] |
|
| 210 |
_aПенза _cППИ _d1980 |
||
| 215 |
_a68 с. _cил. _d20 |
||
| 300 | _aАвт. указаны на обороте тит. л. | ||
| 300 | _aВ надзаг.: Пенз. политехн. ин-т | ||
| 701 | 1 |
_aСкляров _bН. Е. _gНиколай Егорович |
|
| 702 | 1 |
_aСапожков _bК. А. _gКонстантин Андреевич _4340 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_aПензенский политехнический ин-т _3RU\NLR\AUTH\886875 |
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j80-4/27350 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||