000 01051nam0a22002771 4500
001 rc\579088
005 20250621172244.0
010 _a5-11-000541-9
_92000
035 _a(NLR Aleph) 005826876
090 _a5538467
_c5538467
100 _a20031121d1988 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФизика и технология полупроводниковых пленок
_fД.М. Фреик, М.А. Галущак, Л.И. Межиловская
210 _aЛьвов
_cВыща школа. Изд-во при Львов. гос. ун-те
_d1988
215 _a149, [2] с.
_cил.
_d22
320 _aБиблиогр.: с. 143-150 (179 назв.)
700 1 _aФреик
_bД.М.
_gДмитрий Михайлович
701 1 _aГалущак
_bМ.А.
_gМарьян Алексеевич
701 1 _aМежиловская
_bЛ.И.
_gЛюбовь Иосифовна
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j88-5/2427
942 _cBOOK
980 _aNB