000 00898nam0a22002651 4500
001 rc\584439
005 20250621173453.0
035 _a(NLR Aleph) 005831580
090 _a5585840
_c5585840
100 _a20031121d1988 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aДиагностика микропримесей в фоторезистах методами светорассеяния
210 _aМинск
_cИФ
_d1988
215 _a43 с.
_cил.
_d21
225 1 _aПрепринт
_fИн-т физики АН БССР
_v№ 506
320 _aБиблиогр.: с. 41-42
700 1 _aОлейник
_bТ.В.
_gТатьяна Васильевна
701 1 _aХайруллина
_bА.А.
_gАльфия Агфаровна
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j89-4/4603
942 _cBOOK
980 _aNB