| 000 | 00898nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\584439 | ||
| 005 | 20250621173453.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005831580 | ||
| 090 |
_a5585840 _c5585840 |
||
| 100 | _a20031121d1988 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aДиагностика микропримесей в фоторезистах методами светорассеяния | |
| 210 |
_aМинск _cИФ _d1988 |
||
| 215 |
_a43 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fИн-т физики АН БССР _v№ 506 |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 41-42 | ||
| 700 | 1 |
_aОлейник _bТ.В. _gТатьяна Васильевна |
|
| 701 | 1 |
_aХайруллина _bА.А. _gАльфия Агфаровна |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j89-4/4603 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||