| 000 | 00912nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\258540 | ||
| 005 | 20030307121409.2 | ||
| 010 |
_a5-343-00522-5 _91000 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005531774 | ||
| 090 |
_a5616945 _c5616945 |
||
| 100 | _a20030307d1990 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aПлазменное анодирование _eФизика, техника, применение в микроэлектронике |
|
| 210 |
_aМинск _cНавука i тэхнiка _d1990 |
||
| 215 |
_a279, [1] с. _cил. _d22 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 252-276 (555 назв.) | ||
| 700 | 1 |
_aПархутик _bВ. П. _gВиталий Петрович |
|
| 701 | 1 |
_aЛабунов _bВ. А. _gВладимир Архипович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j90-5/5224 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||