| 000 | 02271nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\102346 | ||
| 005 | 20260409072026.0 | ||
| 010 |
_a5-7629-0297-8 _975 |
||
| 021 |
_aRU _b2000-23601 _91120 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000100107 | ||
| 090 |
_a564920 _c564920 |
||
| 100 | _a20000808d2000 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОсновы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация _eУчеб. пособие _fВ.И. Марголин, В.А. Тупик _gМ-во образования РФ, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ" |
|
| 210 |
_aСПб. _cЛЭТИ _d2000 |
||
| 215 |
_a55 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 54 | ||
| 517 | 0 | _aЭлектронная литография и ионная имплантация | |
| 606 |
_aНанотехнологии _jУчебно-методические пособия для высших учебных заведений _3RU\NLR\auth\66830353 _91835426 |
||
| 606 |
_aНанотехнологии _jУчебные издания для высших учебных заведений _3RU\NLR\auth\66830353 _91835426 |
||
| 606 | 0 |
_aЛитография электронная _jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы _91512380 _3RU\NLR\auth\66656644 |
|
| 606 | 0 |
_aЛитография электронная _jУчебные издания для высшей школы _91512380 _3RU\NLR\auth\66656644 |
|
| 606 | 0 |
_aИонная имплантация _jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы _91178469 _3RU\NLR\auth\66473928 |
|
| 606 | 0 |
_aИонная имплантация _jУчебные издания для высшей школы _91178469 _3RU\NLR\auth\66473928 |
|
| 686 | _aЗ844.1-06я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aМарголин _bВ. И. _gВладимир Игоревич _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aТупик _bВ. А. _gВиктор Анатольевич _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20000808 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20000808 |
|
| 852 |
_aNLR _j2000-4/3767 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||