| 000 | 00963nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\299183 | ||
| 005 | 20250621025412.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005535163 | ||
| 090 |
_a5651320 _c5651320 |
||
| 100 | _a20030307d1989 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aМоделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС | |
| 210 |
_aКиев _cИК _d1989 |
||
| 215 |
_a[1], 20 с. _cил. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН УССР, Ин-т кибернетики им. В.М. Глушкова _v89-46 |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 20 (12 назв.) | ||
| 700 | 1 |
_aБагрий _bИ.П. _gИгорь Петрович |
|
| 701 | 1 |
_aЧечко _bГ.А. _gГеоргий Андреевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j90-4/164 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||