| 000 | 01200nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\301458 | ||
| 005 | 20250621025904.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005537322 | ||
| 090 |
_a5673146 _c5673146 |
||
| 100 | _a20030307d1989 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТехнология вертикально-интегрированных полупроводниковых структур для создания СБИС _eУчеб. пособие _fД.Д. Гордеев, В.Н. Дягилев, Ю.А. Парменов _gПод ред. к. т. н., доц. Ю.А. Парменова _gГос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники |
|
| 210 |
_aМ. _cМИЭТ _d1989 |
||
| 215 |
_a67 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 64-66 | ||
| 700 | 1 |
_aГордеев _bД.Д. _gДмитрий Дмитриевич |
|
| 701 | 1 |
_aДягилев _bВ.Н. _gВладимир Николаевич |
|
| 701 | 1 |
_aПарменов _bЮ.А. _gЮрий Алексеевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j90-4/14029 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||