000 01048nam0a22003131 4500
001 rc\3168658
005 20250530075220.0
021 _aRU
_bП2606-77
090 _a5768453
_c5768453
100 _a20120615d1976 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aПолучение тонких пленок вольфрама
210 _aДубна
_cБ. и.
_d1976
215 _a12 с.
_cил.
_d21
225 1 _aОбъединенный институт ядерных исследований. [Издания]
_v9-9538
300 _aПеред загл. авт.: Н.И. Балалыкин, Ю. Бух, В.В. Катрасев, А.В. Скрыпник
320 _aБиблиогр.: с. 12
701 1 _aКатрасев
_bВ.В.
701 1 _aСкрыпник
_bА.В.
701 1 _aБух
_bЮ.
701 1 _aБалалыкин
_bН.И.
852 _aNLR
_jП11/2061
942 _cBOOK