000 00962nam0a22002531 4500
001 rc\984687
005 20250622065505.0
035 _a(NLR Aleph) 006152384
090 _a5776162
_c5776162
100 _a20041129d1981 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aЭлементы морфологии интегральных микросхем на МДП-структурах
_eКонспект лекций
210 _aЛ.
_cЛЭТИ
_d1981
215 _a60 с.
_cил.
_d20
300 _aВ надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина)
320 _aБиблиогр.: с. 58
700 1 _aАничкова
_bН.С.
_gНаталья Сергеевна
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j82-4/23058
942 _cBOOK
980 _aNB