000 00822nam0a22002531 4500
001 rc\988275
005 20250622070158.0
035 _a(NLR Aleph) 006155671
090 _a5809097
_c5809097
100 _a20041129d1981 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aКонтроль технологии гибридных интегральных схем
210 _aЛьвов
_cКаменяр
_d1981
215 _a96 с.
_cил.
_d21
225 1 _aБиблиотека передового опыта
_iТехнология производства
320 _aБиблиогр.: с. 94-95
700 1 _aГотра
_bЗ.Ю.
_gЗенон Юрьевич
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j81-4/28001
942 _cBOOK
980 _aNB