| 000 | 00916nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3497689 | ||
| 005 | 20250610012338.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007610965 | ||
| 090 |
_a5817185 _c5817185 |
||
| 100 | _a20130115d1971 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aАвтоматизация технологии изготовления интегральных схем _eОбзор зарубеж. литературы за 1968-1970 гг. |
|
| 210 |
_aБ. м. _cБ. и. _d1971 |
||
| 215 |
_a47 с. _d21 |
||
| 300 | _aСост. указан на обороте тит. л. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 43-46 | ||
| 333 | _aДля служебного пользования. Экз. № 006 | ||
| 700 | 1 |
_aБахарева _bС.А. _4220 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j72-50к/647 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||