000 01167nam0a22002891 4500
001 rc\3177463
005 20260407140524.0
021 _aRU
_b76-44724
021 _aRU
_bРг13518-76
035 _a(NLR Aleph) 007311887
090 _a5818685
_c5818685
100 _a20120615d1976 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aХимическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов
_eСборник статей
_fПод ред. чл.-кор. АН СССР В.С. Шпака, д. х. н. Р.Г. Аварбэ
_gГос. ин-т прикл. химии
210 _aЛенинград
_cБ. и.
_d1976
215 _a103 с.
_cил.
_d22
320 _aБиблиогр. в конце статей
702 1 _aАварбэ
_bР.Г.
_4340
702 1 _aШпак
_bВ.С.
_gВладимир Степанович
_4340
712 0 2 _aИнститут прикладной химии
_cЛенинград
_3RU\NLR\AUTH\8810007513
_9512659
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j76-5/4271
942 _cBOOK
980 _aNB