000 00942nam0a22002651 4500
001 rc\617311
005 20250621184214.0
035 _a(NLR Aleph) 005860428
090 _a5872806
_c5872806
100 _a20031121d1986 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aОборудование полупроводникового производства
_e[Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов]
210 _aМ.
_cМашиностроение
_d1986
215 _a262, [1] с.
_cил.
_d22
320 _aБиблиогр.: с. 256-258 (47 назв.)
320 _aПредм. указ.: с. 259-263
700 1 _aБлинов
_bИ.Г.
_gИван Григорьевич
701 1 _aКожитов
_bЛ.В.
_gЛев Васильевич
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j86-5/4861
942 _cBOOK
980 _aNB