000 01249nam0a22002651 4500
001 rc\325269
005 20250621035429.0
035 _a(NLR Aleph) 005559201
090 _a5893114
_c5893114
100 _a20030307d1989 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ активность границ зерен в профилированном поликристаллическом кремнии
_fГорелик С.С., Евтодий Б.Н., Ильящук Ю.М. и др.
210 _aЧерноголовка
_cБ. и.
_aМ.
_cИн-т пробл. технологии микроэлектроники и особо чистых материалов
_d1989
215 _a38 с.
_cил.
_d21
225 1 _aПрепринт
_fАН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особо чистых материалов
320 _aБиблиогр.: с. 37-38
701 1 _4070
_7ca
_8rus
_aГорелик
_bС. С.
_f1911-2007
_gСемен Самуилович
_92641265
_3RU\NLR\AUTH\770273035
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j89-6/4983
942 _cBOOK
980 _aNB