000 00859nam0a22002651 4500
001 rc\2296878
005 20250622231512.0
035 _a(NLR Aleph) 006466987
090 _a5895321
_c5895321
100 _a20110829d1977 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aАнодное окисление кремния
210 _aНовосибирск
_cБ. и.
_d1977
215 _a25 с.
_cил.
_d21
225 1 _aАН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. Препринт
320 _aБиблиогр.: с. 24-25
700 1 _aДвуреченский
_bА.В.
_gАнатолий Васильевич
701 1 _aСеряпин
_bВ.Г.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j77-4/27204
942 _cBOOK
980 _aNB