| 000 | 01263nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\620034 | ||
| 005 | 20031121164053.1 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005863034 | ||
| 090 |
_a5898950 _c5898950 |
||
| 100 | _a20031121d1986 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aЧисленное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ травления полимерных пленок в кислородосодержащий атмосфере _fК.А. Валиев, Т.М. Махвиладзе, С.Б. Пекарчук |
|
| 210 |
_aМ. _cБ. и. _d1986 |
||
| 215 |
_a[2], 33 с. _cграф. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН СССР, Ин-т общ. физики. Отд. микроэлектроники _v№ 360 _iФизика твердого тела |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 23-24 | ||
| 700 | 1 |
_aВалиев _bК. А. _f1931- _gКамиль Ахметович |
|
| 701 | 1 |
_aМахвиладзе _bТ. М. |
|
| 701 | 1 |
_aПекарчук _bС. Б. _gСергей Борисович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j88-4/3720 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||