| 000 | 00986nam0a22002411i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\331137 | ||
| 005 | 20240726104347.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005566548 | ||
| 090 |
_a5967109 _c5967109 |
||
| 100 | _a20030307d1989 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТестовые схемы и методы контроля технологического процесса создания интегральных микросхем _e(Приметительно к гибким произв. системам) _eАвтореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. _fМин. радиотехн. ин-т |
|
| 210 |
_aМинск _d1989 |
||
| 215 | _a17 с. | ||
| 320 | _aСписок работ авт.: с. 15-17 | ||
| 333 | _aДСП. Экз. № 94 | ||
| 700 | 1 |
_aДробыш _bП.П. _gПетр Павлович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j90-50К/3694 |
||
| 942 | _cBOOK | ||