| 000 | 01056nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3530518 | ||
| 005 | 20130115143821.0 | ||
| 021 |
_aRU _bП1671-73 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007628165 | ||
| 090 |
_a5994185 _c5994185 |
||
| 100 | _a20130115d1972 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aВнутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния _fМ-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника" |
|
| 210 |
_aМосква _cБ. и. _d1972 |
||
| 215 |
_a24 с. _cграф. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aОбзоры по электронной технике _vВып. 42 _iСерия: Полупроводниковые приборы _vВып. 9 |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 21-23 | ||
| 700 | 1 |
_aВерховский _bЕ. И. |
|
| 701 | 1 |
_aЕпифанов _bГ. И. _gГеоргий Иванович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||