| 000 | 01135nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\2358742 | ||
| 005 | 20250622234740.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006477956 | ||
| 090 |
_a6003560 _c6003560 |
||
| 100 | _a20110829d1977 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aЭллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике _fМ-во электонной пром-сти СССР. ЦНИИ"Электроника" |
|
| 210 |
_aМосква _cБ. и. _d1977 |
||
| 215 |
_a80 с. _cил. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aОбзоры по электронной технике _vВып. 472 _iСер. 2 "Полупроводниковые приборы" _vВып. 7 |
|
| 300 | _aАвт. указаны на обл. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 71-80 | ||
| 700 | 1 |
_aРезвый _bР.Р. _gРостислав Ростиславович |
|
| 701 | 1 |
_aФинарев _bМ.С. |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||