000 01135nam0a22002771 4500
001 rc\2358742
005 20250622234740.0
035 _a(NLR Aleph) 006477956
090 _a6003560
_c6003560
100 _a20110829d1977 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aЭллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике
_fМ-во электонной пром-сти СССР. ЦНИИ"Электроника"
210 _aМосква
_cБ. и.
_d1977
215 _a80 с.
_cил.
_d20
225 1 _aОбзоры по электронной технике
_vВып. 472
_iСер. 2 "Полупроводниковые приборы"
_vВып. 7
300 _aАвт. указаны на обл.
320 _aБиблиогр.: с. 71-80
700 1 _aРезвый
_bР.Р.
_gРостислав Ростиславович
701 1 _aФинарев
_bМ.С.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cBOOK
980 _aNB