| 000 | 01155nam0a22002891 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\2360869 | ||
| 005 | 20110829154509.4 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006478285 | ||
| 090 |
_a6006797 _c6006797 |
||
| 100 | _a20110829d1977 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aФормирование конфигурации элементов полупроводниковых приборов и ИС с помощью ионного травления _fМ-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника" |
|
| 210 |
_aМосква _cБ. и. _d1977 |
||
| 215 |
_a48 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aЗарубежная электронная техника _v17 (163) |
|
| 300 | _aНа 3-й с. авт.: Лабунов, В.А., Мельянец, Г.И., Вальков, Б.И. [и др.] | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 44-46, 48 | ||
| 701 | 1 |
_aМельянец _bГ. И. |
|
| 701 | 1 |
_aЛабунов _bВ. А. |
|
| 701 | 1 |
_aВальков _bБ. И. |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП11/2814 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||