| 000 | 01048nam0a22002531 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\353799 | ||
| 005 | 20250621042842.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005573527 | ||
| 090 |
_a6037053 _c6037053 |
||
| 100 | _a20030307d1989 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОптико-механическое оборудование микроэлектроники _eУчеб. пособие по курсу "Технол. оборуд. микроэлектроники" _fГос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники |
|
| 210 |
_aМ. _cМИЭТ _d1989 |
||
| 215 |
_a58 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 57 | ||
| 700 | 1 |
_aНазаров _bГ. В. _cспециалист в области микросварки _gГеннадий Васильевич _9234133 _3RU\NLR\AUTH\770234189 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j89-4/14242 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||