000 00914nam0a22002651 4500
001 rc\354531
005 20250621043021.0
010 _a5-229-00247-6
_95820
035 _a(NLR Aleph) 005574136
090 _a6043149
_c6043149
100 _a20030307d1989 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aПроизводство полупроводниковых материалов
_e[Учеб. пособие для подгот. рабочих и мастеров на пр-ве]
205 _a2-е изд., перераб. и доп.
210 _aМ.
_cМеталлургия
_d1989
215 _a269, [2] с.
_cил.
_d22
320 _aБиблиогр.: с. 270
700 1 _aНашельский
_bА.Я.
_gАлександр Яковлевич
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j89-5/2473
942 _cBOOK
980 _aNB