| 000 | 00956nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\638879 | ||
| 005 | 20250621193437.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005880373 | ||
| 090 |
_a6071642 _c6071642 |
||
| 100 | _a20031121d1986 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОЧИСТКА и травление кремния _eПо материалам отеч. и зарубеж. лит. за 1983-1985 гг. _fСост.: Чащина С.В., Лазаренко М.А. |
|
| 210 |
_aМ. _cБ. и. _d1986 |
||
| 215 |
_a25 л. _d30 |
||
| 225 | 1 |
_aТУЛ _fВсесоюз. электротехн. ин-т им. В.И. Ленина. ОНТИ _v№ 212 (869) |
|
| 300 | _aНа обл. только загл. сер. | ||
| 300 | _aТемат. указ. лит. | ||
| 702 | 1 |
_aЧащина _bС.В. _4220 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _bС _jП-1/819 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||