000 00956nam0a22002651 4500
001 rc\638879
005 20250621193437.0
035 _a(NLR Aleph) 005880373
090 _a6071642
_c6071642
100 _a20031121d1986 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aОЧИСТКА и травление кремния
_eПо материалам отеч. и зарубеж. лит. за 1983-1985 гг.
_fСост.: Чащина С.В., Лазаренко М.А.
210 _aМ.
_cБ. и.
_d1986
215 _a25 л.
_d30
225 1 _aТУЛ
_fВсесоюз. электротехн. ин-т им. В.И. Ленина. ОНТИ
_v№ 212 (869)
300 _aНа обл. только загл. сер.
300 _aТемат. указ. лит.
702 1 _aЧащина
_bС.В.
_4220
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_bС
_jП-1/819
942 _cBOOK
980 _aNB