| 000 | 01150nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\2148614 | ||
| 005 | 20110829174127.9 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006492552 | ||
| 090 |
_a6147837 _c6147837 |
||
| 100 | _a20110829g19791980|||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aСборник научных трудов _fМ-во высш. и сред. спец. образования СССР, Моск. ин-т электронной техники _g[Отв. ред. д. т. н. проф. В.З. Петрова] _iСерия "Неоргагические диэлектрики и пленки в микроэлектронике" |
|
| 210 |
_aМосква _cМИЭТ _d1979 (вып. дан. 1980) |
||
| 215 |
_a185 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр. в конце статей | ||
| 333 | _aДСП. Экз. № 4 | ||
| 517 | 0 | _aНеоргагические диэлектрики и пленки в микроэлектронике | |
| 702 | 1 |
_aПетрова _bВ. З. _4340 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j81-50К/4624 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||