000 01260nam0a22003011 4500
001 rc\3484220
005 20130115140718.1
021 _aRU
_b[70-23279]
035 _a(NLR Aleph) 007646058
090 _a6177842
_c6177842
100 _a20130115d1969 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aОптический контроль толщины прозрачных стенок, предназначенных для регулирования параметров оптоэлектронных компонентов
_fИн-т точной механики и вычисл. техники АН СССР
210 _aМосква
_cБ. и.
_d1969
215 _a22 с.
_cчерт.
_d22
300 _aПеред загл. авт.: А.А. Новиков, С.А. Раскутин, Н.Ф. Шанин
320 _aБиблиогр.: с. 21-22 (11 назв.)
606 _aПленки тонкие
_xТолщина
_xИзмерение
_2psbo
700 1 _aНовиков
_bА. А.
_gАдольф Алексеевич
701 1 _aРаскутин
_bС. А.
701 1 _aШанин
_bН. Ф.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j70-6/1588
942 _cBOOK
980 _aNB