| 000 | 01203nam0a22002891 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\2247386 | ||
| 005 | 20250623004858.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006498518 | ||
| 090 |
_a6206672 _c6206672 |
||
| 100 | _a20110829d1978 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aГазоразрядные источники излучения для фотолитографии _fМ-во электрон. пром-сти СССР. [ЦНИИ "Электроника"] |
|
| 210 |
_aМосква _cБ. и. _d1978 |
||
| 215 |
_a34 с., 2 л. табл. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aОбзоры по электронной технике _vВып. 522 _iСерия "Электровакуумные и газоразрядные приборы" _vВып. 1 |
|
| 300 | _aПеред загл. авт.: А.М. Данильченко, Б.Я. Луцет, В.А. Самодергин [и др.] | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 32-34 | ||
| 701 | 1 |
_aЛуцет _bБ.Я. |
|
| 701 | 1 |
_aДанильченко _bА.М. |
|
| 701 | 1 |
_aСамодергин _bВ.А. |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||