| 000 | 01295nam0a22003131 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3190971 | ||
| 005 | 20120628150657.7 | ||
| 021 |
_aRU _b[75-7722] |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007351289 | ||
| 090 |
_a6211680 _c6211680 |
||
| 100 | _a20120628d1975 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 | _aЧистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем | |
| 210 |
_aМосква _cЭнергия _d1975 |
||
| 215 |
_a209 с. _cил. _d22 |
||
| 300 | _aПеред загл. авт.: И.Д. Голото, Б.П. Докучаев, Г.Д. Колмогоров | ||
| 320 | _aСписок лит.: с. 203-207 (90 назв.) | ||
| 606 |
_aМикроэлектронные схемы, интегральные _xПроизводство _2psbo |
||
| 606 |
_aПолупроводниковые приборы _xПроизводство _2psbo |
||
| 700 | 1 |
_aГолото _bИ. Д. _gИван Данилович |
|
| 701 | 1 |
_aДокучаев _bБ. П. _gБорис Павлович |
|
| 701 | 1 |
_aКолмогоров _bГ. Д. _gГеоргий Дмитриевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j74-3/7352 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||