000 01011nam0a22002891 4500
001 rc\2385736
005 20110829185041.3
035 _a(NLR Aleph) 006502248
090 _a6243463
_c6243463
100 _a20110829d1978 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aО механизамх влияния изучения на процесс газовой эпитаксии
_fГ.М. Гуро, Г.А. Калюжная, Т.С. Мамедов, Л.А. Шепелин
210 _aМосква
_cБ. и.
_d1978
215 _a[1], 32 с.
_cил.
_d20
225 1 _aПрепринт
_fАН СССР, Физ. ин-т им. П.Н. Лебедева
_v№ 272
320 _aБиблиогр.: с. 31-32
701 1 _aМамедов
_bТ. С.
701 1 _aШелепин
_bЛ. А.
701 1 _aКалюжная
_bГ. А.
701 1 _aГуро
_bГ. М.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j79-4/8432
942 _cBOOK
980 _aNB