| 000 | 01348nam0a22003011 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3499689 | ||
| 005 | 20130115141744.4 | ||
| 021 |
_aRU _b[72-53298] |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007652493 | ||
| 090 |
_a6244031 _c6244031 |
||
| 100 | _a20130115d1972 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТермодинамические методы расчета равновесия реакций, применяемых в производстве полупроводниковых материалов _fПод ред. проф. Л.А. Фирсановой _gМоск. ин-т стали и сплавов |
|
| 210 |
_aМосква _cБ. и. _d1972 |
||
| 215 |
_a44 с. _cчерт. _d20 |
||
| 300 | _aПеред загл. авт.: Д.К. Белащенко, С.А. Ершова, Л.А. Фирсанова | ||
| 320 | _aСписок лит.: с. 43-44 (18 назв.) | ||
| 606 |
_aПолупроводники _xПроизводство _xФизико-химические основы _2psbo |
||
| 700 | 1 |
_aБелащенко _bД. К. _gДавид Кириллович |
|
| 701 | 1 |
_aЕршова _bС. А. |
|
| 701 | 1 |
_aФирсанова _bЛ. А. _gЛидия Алексеевна |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j72-4/18135 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||