000 01183nam0a22002651 4500
001 rc\3211614
005 20130115140223.3
021 _aRU
_b76-49112
021 _aRU
_bРг11146-76
035 _a(NLR Aleph) 007359346
090 _a6291456
_c6291456
100 _a20130115d1976 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aТочность и стабильность технологических процессов в производстве интегральных микроузлов
_fЦентр. правл. Науч.-техн. о-ва приборостроит. пром-сти им. акад. С.И. Вавилова. Обществ. ин-т. Заоч. курсы повышения квалификации ИТР по микроминиатюризации в приборостроении
210 _aМосква
_cМашиностроение
_d1976
215 _a55 с.
_cил.
_d22
320 _aБиблиогр.: с. 54
700 1 _aОбичкин
_bЮ. Г.
_gЮрий Геннадиевич
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j76-6/6497
942 _cBOOK
980 _aNB