| 000 | 01183nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3211614 | ||
| 005 | 20130115140223.3 | ||
| 021 |
_aRU _b76-49112 |
||
| 021 |
_aRU _bРг11146-76 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007359346 | ||
| 090 |
_a6291456 _c6291456 |
||
| 100 | _a20130115d1976 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТочность и стабильность технологических процессов в производстве интегральных микроузлов _fЦентр. правл. Науч.-техн. о-ва приборостроит. пром-сти им. акад. С.И. Вавилова. Обществ. ин-т. Заоч. курсы повышения квалификации ИТР по микроминиатюризации в приборостроении |
|
| 210 |
_aМосква _cМашиностроение _d1976 |
||
| 215 |
_a55 с. _cил. _d22 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 54 | ||
| 700 | 1 |
_aОбичкин _bЮ. Г. _gЮрий Геннадиевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j76-6/6497 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||