000 01473nam0a22002651 4500
001 rc\17742
005 20260712045403.0
035 _a(NLR Aleph) 005305514
090 _a6332863
_c6332863
100 _a20021204d1991 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aТезисы докладов VII Всесоюзного симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел
_e(РЭМ-91), г. Звенигород, 1991 г.
210 _aМ.
_cБ. и.
_d1991
215 _a174, [1] с.
_cил.
_d20
300 _aВ надзаг.: Науч. совет АН СССР по электрон. микроскопии, Ин-т кристаллографии им. А.В. Шубникова АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особо чистых материалов АН СССР
320 _aАвт. указ.: с. 171-174
710 1 2 _aВсесоюзный симпозиум по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел
_d7
_f1991
_eЗвенигород
_3RU\NLR\AUTH\8816355
_9305862
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j91-3/1369
942 _cBOOK
980 _aNB