| 000 | 01081nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3220525 | ||
| 005 | 20130115140824.2 | ||
| 021 |
_aRU _bРг12078-72 |
||
| 021 |
_aRU _b72-38861 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007364341 | ||
| 090 |
_a6340688 _c6340688 |
||
| 100 | _a20130115d1972 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa c ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОптимизация метрологического обеспечения производства интегральных схем _eМетод. указания по курсу "Основы радиоэлектроники" _fМ-во высш. и сред. спец. образ. СССР. Моск. лесотехн. ин-т. Кафедра основ радиоэлектроники |
|
| 210 |
_aМосква _cБ. и. _d1972 |
||
| 215 |
_a83 с. _cил. _d22 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 78-81 | ||
| 700 | 1 |
_aЖиликов _bС. Г. _gСерафим Григорьевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j72-6/6421 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||