| 000 | 00950nam0a22002531 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\1046399 | ||
| 005 | 20250622091532.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006208515 | ||
| 090 |
_a6343250 _c6343250 |
||
| 100 | _a20041129d1981 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aНекоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов _fВ.В. Старков, К.Л. Фесюк, Н.И. Балякин, Г.И. Коханчик |
|
| 210 |
_aЧерноголовка _cИХФ _d1981 |
||
| 215 |
_a18 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН СССР. Отд-ние Ин-та хим. физики |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 18 | ||
| 701 | 1 |
_aСтарков _bВ.В. |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j82-6/2048 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||