000 01201nam0a22002771 4500
001 rc\375403
005 20030307123912.5
035 _a(NLR Aleph) 005607367
090 _a6376590
_c6376590
100 _a20030307d1989 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aПрецизионные измерения качества поверхностей деталей с помощью оптоэлектронных датчиков на основе полупроводниковых лазеров
_fВ.Н. Морозов, П.В. Мясников, С.Е. Солодов
210 _aМ.
_cФИАН
_d1989
215 _a38 с.
_cил.
_d20
225 1 _aПрепринт
_fФиз. ин-т им. П.Н. Лебедева АН СССР. Отд. квантовой радиофизики
_v№ 134
_iКвантовая радиофизика
320 _aБиблиогр.: с. 38
700 1 _aМорозов
_bВ. Н.
_gВалентин Николаевич
701 1 _aМясников
_bП. В.
701 1 _aСолодов
_bС. Е.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j89-4/16401
942 _cBOOK
980 _aNB