| 000 | 01139nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\22840 | ||
| 005 | 20250620151035.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005310706 | ||
| 090 |
_a6382993 _c6382993 |
||
| 100 | _a20021216d1992 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aДиффузионные процессы в тонкопленочных металлических системах _fАлешин А.Н., Бокштейн Б.С., Куркин П.В. |
|
| 210 |
_aЧерноголовка _cБ. и. _d1992 |
||
| 215 |
_a47 с. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fРос. акад. наук. Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 38-47 | ||
| 700 | 1 |
_aАлешин _bА.Н. _gАндрей Николаевич |
|
| 701 | 1 |
_aБокштейн _bБ.С. _gБорис Самуилович |
|
| 701 | 1 |
_aКуркин _bП.В. _gПавел Владимирович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j93-4/6952 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||