000 00928nam0a22002651 4500
001 rc\677806
005 20250621210034.0
035 _a(NLR Aleph) 005915372
090 _a6420113
_c6420112
100 _a20031121d1986 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aТочное машиностроение для микроэлектроники
210 _aМ.
_cРадио и связь
_d1986
215 _a86, [2] с.
_cил.
_d20
225 1 _aМассовая библиотека инженера "Электроника"
320 _aБиблиогр.: с. 86-87 (29 назв.)
700 1 _7ca
_8rus
_aОнегин
_bЕ. Е.
_cд-р техн. наук
_f1932-2002
_gЕвгений Евгеньевич
_9250255
_3RU\NLR\AUTH\770250311
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j86-4/5079
942 _cBOOK
980 _aNB