| 000 | 00908nam0a22002531 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\33349 | ||
| 005 | 20250620153558.0 | ||
| 010 |
_a5-88151-043-7 _9150 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005317844 | ||
| 090 |
_a6455720 _c6455720 |
||
| 100 | _a20021216d1995 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aЛитографические процессы в микроэлектронике _eУчеб. пособие _fГос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию. Перм. гос. техн. ун-т |
|
| 210 |
_aПермь _cПерм. гос. техн. ун-т _d1995 |
||
| 215 |
_a58 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 55-57 | ||
| 700 | 1 |
_aБоровцов _bП.В. _gПетр Васильевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j96-4/9148 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||