| 000 | 01071nam0a22002411 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\683696 | ||
| 005 | 20031121170026.1 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005920850 | ||
| 090 |
_a6475525 _c6475526 |
||
| 100 | _a20031121d1985 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТонкопленочная интегральная технология в приборостроении _eУчеб. пособие _fР.Р. Бабаян, к. т. н. _gМ-во приборостроения средств автоматизации и систем упр. Упр. кадров и учеб. заведений, Моск. ин-т повышения квалификации руководящих работников и специалистов |
|
| 210 |
_aМ. _cБ. и. _d1985 |
||
| 215 |
_a107 с. _cил. |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 102-105 | ||
| 700 | 1 |
_aБабаян _bР. Р. _gРоберт Рубенович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j86-3/9574 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||